天眼查App显示，2025年5月9日，「碳化硅晶锭加工方法及加工系统」正式进入专利公布阶段。申请人为浙江求是半导体设备有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司，该项碳化硅加工技术领域专利涉及碳化硅晶锭加工的技术解决方案。据专利信息显示，该技术显著优化了碳化硅晶锭的加工效率和质量。发明人为欧阳鹏根、盛永江、刘小琴、杨水淼、赵阳阳、丁津伟。

专利摘要指出，本申请提供了一种碳化硅晶锭加工方法及加工系统，属于碳化硅晶锭加工技术领域，解决了现有技术中碳化硅晶锭难以加工的问题。具体步骤包括：获取晶锭近光面的粗糙度，并根据粗糙度筛分出一级粗糙面和二级粗糙面；基于不同粗糙面执行加工策略，采用不同光束能量配置进行扫描，以形成第一改质区和第二改质区，确保切缝宽度基本相同。

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