天眼查App显示,2025年5月9日,「石英坩埚的熔融设备参数调整方法」正式进入专利权的授权阶段。申请人为浙江求是半导体设备有限公司和浙江晶盛机电股份有限公司,该项半导体材料制备领域专利涉及石英坩埚熔融设备参数调整的技术应用。据专利信息显示,该方法能够显著优化石英坩埚熔融设备参数调整的精确性和效率。发明人为傅林坚、刘华、杨洁和李恒。本申请提出了一种通过获取多批次石英坩埚熔制过程中的观测过程参数,并采用密度估计方法筛选有效批次,最终结合质量预测模型调整熔融设备参数的方法,从而实现更高效、更精准的石英坩埚生产流程控制。
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