天眼查App显示,2025年5月9日,「一种大数值孔径混波直写光刻镜头」正式进入专利公布阶段。申请人为南京波长光电科技股份有限公司,该项光学设备专利涉及混波直写光刻技术领域,具体为一种兼具紫外宽光谱、物方数值孔径较大、整体色差较小的大数值孔径混波直写光刻镜头。据专利信息显示,该技术实现了显著优化的效果。发明人为沈思思、丁志伟、张绣锐、李林峰、王国力、朱敏和吴玉堂。本发明采用平面玻璃和14个透镜组成,从物方侧至像方侧方向上,第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组沿光的轴线方向依次排布,具有突破性进展的技术特点。
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