天眼查App显示，2025年5月13日，「热处理设备」正式进入专利公布阶段。申请人为北京屹唐半导体科技股份有限公司，该项半导体制造领域专利涉及热处理设备的优化设计。据专利信息显示，该技术可显著优化工艺气体利用率，减少电离现象的发生。发明人为闻龙、曹红波。

本公开提供一种热处理设备，包括反应腔、支撑件、进气装置和排气装置。其中，进气装置的出气端朝向工件的中心区域延伸，排气装置设置有多个吸口用于从工件周围的不同方向抽吸工艺气体。通过这一设计，工艺气体在反应腔内的移动路径得以缩短，从而避免了部分工艺气体吸收过多热能而电离，显著提高了工艺气体的利用率。

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