深圳中科飞测科技股份有限公司等「照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质」专利公布(光学专利快讯)

天眼查App显示,2025年5月13日,「照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司,该项光学专利涉及半导体检测技术领域。据专利信息显示,该技术能够针对不同的工作场景进行照明模式的切换,从而显著优化检测性能。发明人为黄有为、宋博文、陶陶、陈鲁。

本申请公开了一种照明模式切换方法、检测方法、检测系统及存储介质。所述方法包括:响应于第一信号,控制照明模式切换为第一照明模式,以对载物台上所承载的参考物进行均匀照明,第一信号用于指示检测系统需要进行寻焦;响应于第二信号,控制照明模式切换为第二照明模式,以照亮目标区域并对载物台上所承载的待测物进行光瞳滤波适配,第二信号用于指示寻焦完成;接收第三信号,并控制照明模式切换为第三照明模式,以对待测物进行扫描成像,第三信号用于指示对待测物的光瞳滤波适配完成。通过上述方案,该专利实现了不同工作场景下的照明需求满足,进一步提升了检测性能。

免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。

Copyright © DoNews 2000-2025 All Rights Reserved
蜀ICP备2024059877号-1