深圳中科飞测科技股份有限公司一种测量设备专利公布(测量专利快讯)

天眼查App显示,2025年5月13日,「一种测量设备」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司,该项测量专利涉及基于双斐索干涉仪的光路设计技术领域。据专利信息显示,该技术实现了显著优化,有效防止保护玻璃反射的光进入到本侧干涉仪中,滤除串扰,从而保证了测量精度。发明人为陈鲁、袁明波、马砚忠、郁健。「本申请提供的测量设备,基于双斐索干涉仪的光路设计,在第一PBS分光棱镜和第一保护玻璃之间设置第三四分之一波片,在第二PBS分光棱镜和第二保护玻璃之间设置第四四分之一波片,第一保护玻璃将入射的部分光束反射至第三四分之一波片,再经第一PBS分光棱镜后反射出光路,第二保护玻璃将入射的部分光束反射至第四四分之一波片,再经第二PBS分光棱镜后反射出光路,以防止对路的保护玻璃反射的光进入到本侧干涉仪中,滤除串扰,保证了测量精度。」

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