天眼查App显示，2025年5月13日，「一种蒸镀膜厚监测方法及系统」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项半导体制造专利涉及蒸镀膜厚监测技术领域。据专利信息显示，该技术能够显著优化现有晶振膜厚仪系统的使用成本问题，并减少频繁更换石英晶振探头对连续生产的影响。发明人为籍伟杰、陈少炜、张鹤、左敏、赵昂璧、陈佳男。 「本申请提供了一种蒸镀膜厚监测方法及系统，通过根据石英晶振探头在工作时间内的震荡频率信号以及基片的光学信号，计算得到第一膜厚增量和光学系数，并进一步得出间歇时间内基片的第二膜厚增量。该方法解决了现有技术中整套晶振膜厚仪系统需要较频繁更换石英晶振探头的问题，降低了使用成本并提高了生产效率。」

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