天眼查App显示，2025年5月13日，「寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项电通信技术领域专利涉及半导体检测技术的应用。据专利信息显示，通过引入参考物，能够显著优化目标高度距离的准确性。发明人为宋博文、陶陶、黄有为、陈鲁。「本申请公开了一种寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质，属于半导体检测技术领域。所述方法包括：控制承载有参考物与待测物的载物台与物镜在垂直方向相对运动，使得载物台上所承载的参考物与物镜在垂直方向上依次处于多个不同的高度距离；其中，该载物台具有第一承载区域和第二承载区域。在每个高度距离时，控制对该载物台上的参考物进行拍摄，得到参考物在每个高度距离时的参考图像。基于该参考物在多个不同的高度距离时的参考图像，确定目标高度距离，目标高度距离用于确定对待测物进行扫描时载物台或待测物与物镜之间初始的高度距离。」

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