天眼查App显示，2025年5月13日，「一种氧化铝静电吸盘及其制备方法和应用」正式进入专利公布阶段。申请人为宁波江丰电子材料股份有限公司，该项半导体材料专利涉及氧化铝陶瓷在半导体加工中的应用，用于固定硅片场景。据专利信息显示，该技术实现了显著优化的性能突破。发明人为边逸军、姚力军、黄洁文、吴东青、周友平。本发明提供了一种氧化铝静电吸盘的制备方法，包括将含有助烧剂的氧化铝陶瓷粉末分两次冷等静压处理，制备第一和第二氧化铝生胚；在第一氧化铝生胚上涂覆导电浆料并叠层第二氧化铝生胚；通过冷等静压叠层、包套焊接、脱气及热等静压处理后机械加工得到成品。此方法解决了氧化铝陶瓷与电极材料共烧问题，制备出性能优异的氧化铝静电吸盘。

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