天眼查App显示,2025年5月13日,「一种导电薄膜及其制备方法和应用」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,该项新能源材料专利涉及导电薄膜的制备与应用技术领域。据专利信息显示,本发明的制备方法能够在室温下显著优化铟基氧化物薄膜材料的迁移率,通过氮掺杂增强表面电荷局域化,实现突破性进展。发明人为苏超颖、彭智敏、陈麒麟和满小花。
专利摘要指出,本发明提供了一种导电薄膜及其制备方法和应用。具体步骤包括将衬底置于镀膜设备中,抽真空后设置靶材,并通入气体进行镀膜。其中,气体为氮气或氮气和氧气的混合气体,混合气体中氮气和氧气的流量比为0.1~10:1。该方法在低轰击设备条件下成膜,能够制备出高迁移率的铟基氧化物薄膜材料,适用于叠层钙钛矿太阳能电池的制备。
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