天眼查App显示，2025年5月13日，「一种防抖固晶方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为东莞市凯格精机股份有限公司，该项固晶技术专利涉及半导体制造中晶片固定的技术应用场景。据专利信息显示，该技术能够显著优化现有固晶设备因薄膜抖动导致的定位问题，有效提升固晶精度和效率。发明人为邱国良、宋先玖、王军建和张晓伟。「本发明涉及固晶技术领域，具体公开一种防抖固晶方法，包括：将薄膜上的晶片向上顶起，使得所述晶片脱离所述薄膜；将被顶起的所述晶片固定至基板上；横移所述薄膜，以便对下一个晶片进行顶升作业；其中，在横移所述薄膜时，持续向下吸附所述薄膜，以限制所述薄膜发生抖动。本发明提供的防抖固晶方法，能有效解决现有固晶设备的固晶摆臂摆动时会引起薄膜抖动，不利于对薄膜上的晶片进行定位，最终导致固晶不良的问题。」

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