天眼查App显示，2025年5月13日，「一种静电卡盘用流延浆料、高性能陶瓷材料及其制备方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为苏州珂玛材料科技股份有限公司，该项半导体材料领域专利涉及静电卡盘用流延浆料及高性能陶瓷材料的制备技术。据专利信息显示，该技术可显著优化残余电荷放电时间，并降低陶瓷静电卡盘氧化铝陶瓷材料性能的温度依赖性，从而保持良好的机械和电气性能。发明人为唐小能、何琪娜、施建中、刘先兵。「本发明按重量份数计，制备原料包括：混合粉末20-40份、分散剂0.1-3份、有机溶剂50-70份、粘结剂5-50份、增塑剂1-30份；所述混合粉末包括氧化铝粉和玻璃粉。通过将镁化合物、硅化合物和钙化合物合成具有玻璃状组合物的高熔点烧结添加剂，即玻璃粉，再与氧化铝粉混料处理，实现技术突破。」

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