天眼查App显示,2025年5月13日,「一种用于金刚砂线切割硅片的切割液」正式进入专利公布阶段。申请人为常州君合科技股份有限公司,该项半导体制造工艺专利涉及金刚砂线切割硅片技术领域。据专利信息显示,该技术显著优化了切割过程中金刚线切割能力衰退的问题,并有效减少断线异常,确保切割作业顺畅进行。发明人为吴伟峰、毛科人、戚龙亮。 「本发明提出了一种用于金刚砂线切割硅片的切割液,按重量份包括以下成分组成:10~20份丙二醇、10~20份聚醚、3~10份润滑剂、5~10份三乙醇胺、5~10份炔醇以及40~60份纯水,常温下将丙二醇、聚醚、润滑剂、三乙醇胺、炔醇,依次加入纯水,并搅拌至均匀透明,得到本切割液,通过在内部加入亲水性较好的润滑剂,可以使得该切割液能迅速润湿金刚线及硅片,显著降低金刚线切割能力的衰退速度,减少切割过程中断线异常,确保切割作业的顺畅进行,同时,高亲水性,解决了硅粉、碳化硅等杂质颗粒分散不佳的问题,通过快速铺展润湿分散这些杂质,确保了硅片的高切割质量。」
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