天眼查App显示，2025年5月16日，「药液管理方法、药液管理设备及半导体工艺设备」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项半导体工艺专利涉及药液更新需求的优先级管理技术，用于解决补液和换酸之间的干涉问题，确保有序进行，为提高半导体的制备效率和产品质量奠定基础。据专利信息显示，该技术实现了显著优化。发明人为王毅恒、王文卓。「本申请提供一种药液管理方法，通过比较不同药液更新需求的优先级，优先响应高优先级需求，实现补液和换酸过程的高效管理，解决了两者之间的干扰问题，提升了整体工艺水平。」

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