天眼查App显示,2025年5月16日,「一种平板探测器及其制备方法」正式进入专利公布阶段。申请人为奕瑞电子科技集团股份有限公司,该项光电技术专利涉及平板探测器的高效制备方法。据专利信息显示,通过多级模组拼接方式形成平板探测器,显著优化了晶圆利用率并提升了产品良率。发明人为张佳楠、熊子琪。 「本发明提供一种平板探测器及其制备方法,首先将晶粒粘接在第一基板上形成第一模组,再将若干个第一模组并列粘接在第二基板上形成第二模组,最后将若干个第二模组并列粘接在第三基板上形成平板探测器。本发明通过多级模组拼接的方式形成平板探测器,可以在制备第一模组时选用尺寸较小的晶粒,晶粒尺寸越小,其出现缺陷的概率就越小,晶圆切割形成的晶粒数量也越多,有利于提高晶圆利用率,降低生产成本;另外,选用测试合格的第一模组拼接形成第二模组,再选用测试合格的第二模组拼接形成平板探测器,有利于及时去除残次品,提升了产品良率。」
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