天眼查App显示,2025年5月16日,「一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法」正式进入专利公布阶段。申请人为合肥芯碁微电子装备股份有限公司,该项半导体设备领域专利涉及半导体空间光激光器镜片的调试技术。据专利信息显示,该技术实现了显著优化,采用真空吸附的方式对镜片进行位姿调整,避免与镜片硬接触,可摆脱传统机械夹持过程中机械应力对镜片的损害风险,以及避免夹具松弛过程中释放应力对镜片的影响。发明人为刘亮、杨凯。「本发明提供一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法,属于半导体空间光激光器镜片的调试技术领域,通过准直透镜吸附治具、反射镜吸附治具和耦合透镜吸附治具等组件实现精确调试,有效提升激光器性能及稳定性。」
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