天眼查App显示，2025年5月16日，「一种线圈和等离子体发生装置」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项电技术专利涉及等离子体处理技术领域。据专利信息显示，该发明通过优化线圈结构设计，显著提升了大尺寸腔体ICP放电时Plasma分布的均匀性，实现了突破性进展。发明人为李翔、种展鹏、袁红霞、王娟和姚俊。「本申请涉及等离子体处理技术领域，公开一种线圈和等离子体发生装置。其中，所述线圈包括第一线圈部和第二线圈部，二者为并联且沿相同方向绕制的螺旋线圈，电流方向一致，以适应大尺寸腔体ICP放电并提供均匀的Plasma分布。」

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