天眼查App显示,2025年5月27日,「一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS及其制备方法」正式进入专利公布阶段。申请人为泰科天润半导体科技(北京)有限公司,该项半导体器件专利涉及高性能碳化硅VDMOS的制备技术。据专利信息显示,该技术通过非对称设计实现了体二极管续流能力的显著优化,并有效降低体二极管损耗。发明人为何佳、施广彦、李昀佶、陈彤及张长沙。 「本发明提供了一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS及其制备方法,在碳化硅衬底下侧面淀积金属,形成漏极金属层;在所述碳化硅衬底上侧面外延生长,形成漂移区;形成阻挡层,刻蚀,离子注入,形成第二低阻区、第一低阻区、第一漂移层、第二漂移层、第一P型源区、第二P型源区、P型阱区及N型源区;重新形成阻挡层,刻蚀,氧化形成绝缘介质层,所述绝缘介质层内设有沟槽;重新形成阻挡层,刻蚀,淀积金属,形成栅极金属层及源极金属层,去除阻挡层,完成制备;通过对器件结构进行非对称设计,实现了提高体二极管续流能力,降低体二极管损耗。」
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