天眼查App显示，2025年5月27日，「一种烟雾温度保护装置及系统」正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项半导体技术领域专利涉及对半导体设备的烟雾温度保护。据专利信息显示，该技术能够有效实现对半导体设备的烟雾温度保护，显著优化设备的安全性。发明人为张婉。 「本申请公开了一种烟雾温度保护装置及系统，涉及半导体技术领域。该装置包括控制器，控制器与温度传感器、烟雾传感器、报警器和急停装置分别电连接；温度传感器被配置为采集半导体设备的温度值，并将温度值传输至控制器；烟雾传感器被配置为采集半导体设备的烟雾值，并将烟雾值传输至控制器；控制器被配置为检测接收到的烟雾值是否处于预设数值范围，并在检测到烟雾值处于预设数值范围内的情况下，根据温度值执行目标操作；在温度值异常的情况下的目标操作为：向报警器传输第一控制信号，以使报警器进行报警，和/或，向急停装置传输第二控制信号，以使急停装置将半导体设备断电。」

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