天眼查App显示，2025年6月3日，「一种电子显微镜的光阑校准方法、装置以及存储介质」正式进入专利公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项测量测试领域专利涉及电子显微镜光阑对中校准技术。据专利信息显示，通过该技术方案可显著优化电子显微镜光阑对中的校准精准度，并提升半导体芯片关键尺寸检测的精度和效率。发明人为许正平、史晋峰、张洪彪、王星皓。 「本申请实施例提供了一种电子显微镜的光阑校准方法、装置以及存储介质，包括：通过目标电子显微镜获取目标晶圆对应的正焦采集图像、欠焦采集图像以及过焦采集图像。确定正焦采集图像、欠焦采集图像以及过焦采集图像中的共同图像特征。根据共同图像特征，确定欠焦采集图像和过焦采集图像相对正焦采集图像的图像偏移值，根据图像偏移值，对目标电子显微镜进行光阑对中校准。通过本申请实施例所提供的技术方案在有效统一了对电子显微镜进行光阑对中校准的校准标准的同时，还有效提高了电子显微镜的光阑对中的校准精准度，使得后续通过电子显微镜进行半导体芯片的关键尺寸检测时的检测精度和检测效率也获得一定程度上的提升。」

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。