天眼查App显示,2025年6月6日,「喷涂工装」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京屹唐半导体科技股份有限公司,该项半导体制造领域专利涉及对表面涂覆液体或其他流体的一般方法的应用场景。据专利信息显示,该技术可以显著优化多批产品上喷涂区域的一致性,并利于自动化产线的实施。发明人为石岱、薛俊辉、陈允慧、么曼实、兰梦。本公开提供一种喷涂工装,包括第一工装组件,沿垂向设置于腔室件的顶部;第一工装包括环状本体,第二表面抵靠至腔室件的上表面;环状本体具有第一中心孔;第一中心孔的孔壁配置与腔室件中心孔的孔壁共面,以使环状本体遮蔽腔室件的遮蔽区域。此喷涂工装无需胶带粘贴即可直接配置在腔室件上,具备可复制性强的特点。
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