天眼查App显示，2025年6月6日，「流体排放装置及半导体工艺设备」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项半导体设备专利涉及半导体制备技术领域，用于优化流体排放过程中的液体与气体分离效果，显著提升半导体工艺腔室的运行效率。据专利信息显示，该装置通过独特的分隔设计，实现液体和气体的有效分离，突破性进展有助于提高半导体制造工艺稳定性。发明人为张亚斌、赵宏宇、马宏帅、王锐廷、宋文彬。

本申请公开了一种流体排放装置及半导体工艺设备，涉及半导体制备技术领域，所公开的流体排放装置包括箱体、第一分隔部和第二分隔部；箱体设有第一流体进口、排液口和排气口，第一流体进口用于与半导体工艺腔室的流体排放口连通；第一分隔部设于箱体的底部，且将箱体分隔为主体区域和储液区域，第一分隔部的上边缘与箱体的顶壁间隔设置，第一流体进口与储液区域连通，排液口和排气口均与主体区域连通；第二分隔部与箱体的内壁连接，且第二分隔部的至少部分伸入储液区域内，第二分隔部的下边缘与箱体的底壁间隔设置，沿竖直方向，第一分隔部的上边缘高于第二分隔部的下边缘。

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