天眼查App显示，2025年6月6日，「激光加工装置和激光加工系统」正式进入专利的公布阶段。申请人为合肥芯碁微电子装备股份有限公司，该项激光加工专利涉及机床及金属加工领域。据专利信息显示，通过电光调制器对单束激光光束进行分束的技术手段，显著优化了分光光束的均匀度，并减少了能量浪费，从而有效提升了孔型加工质量。发明人为刘孟辉、赵尚州。 「本发明公开了一种激光加工装置和激光加工系统，所述激光加工装置包括：激光器，所述激光器用于发出单束激光光束；电光调制器，所述电光调制器设于所述激光器的出射光路上，所述电光调制器用于将所述单束激光光束进行分束以形成M个能量不同的分光光束，M大于1。采用该方法可以通过电光调制器对单束激光光束进行分束，电光调制器的衍射效率高且分光光束的均匀度高，从而避免分光光束较大而影响孔型的加工质量，而且电光调制器成本较低、分光效率高、对于激光光束的浪费能量较少。」

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