天眼查App显示,2025年6月6日,「一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为湖北五方光电股份有限公司,该项晶圆加工专利涉及晶圆制备中的磨圆技术领域。据专利信息显示,该发明实现了显著优化的效果,提升了晶圆加工精度,并杜绝了晶圆表面粘黏蜡的问题,消除了后期测试时蜡对产品光谱的影响。发明人为奂微微、刘浩、杨锋、陈浪和操龙陈。「本发明包括工作台、上料机构、顶升机构及夹固机构等组件,通过改进晶圆夹持方式,可有效定位多个晶圆并进行磨圆处理,提高了生产效率与产品质量。」
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