宁波江丰电子材料股份有限公司靶材溅射用铜聚焦环专利公布(金属加工专利快讯)

天眼查App显示,2025年6月6日,「一种靶材溅射用铜聚焦环及其制备方法和应用」正式进入专利的公布阶段。申请人为宁波江丰电子材料股份有限公司,该项金属加工专利涉及靶材溅射技术领域中的铜聚焦环制备方法及应用。据专利信息显示,该技术可显著优化晶圆镀膜均匀度,并有效防止铜料堆积掉落,避免对晶圆造成损伤。发明人为姚力军、邵科科、王学泽。 「本发明提供了一种靶材溅射用铜聚焦环及其制备方法和应用。通过卷圆机将铜条卷圆成环形并进行焊接与抛光处理,最终得到表面粗糙度及粘结力均调控良好的铜聚焦环。此方法提升了晶圆镀膜均匀性,同时避免了铜料掉落砸伤晶圆的风险。」

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