天眼查App显示，2025年6月10日，「流体输送装置和镀膜装置」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项半导体制造相关专利涉及流体输送与镀膜技术领域。据专利信息显示，该技术通过可拆卸结构进行组装，显著优化了不同介质对应的输送通道清洗及维护保养的便捷性，同时有效降低了成本。发明人为刘明、郭志强、左敏。「本申请提供了一种流体输送装置和镀膜装置，流体输送组件采用可拆卸连接的第一流体输送件和第二流体输送件，便于针对一种介质所对应的输送通道进行清洗，维护保养方便，成本更低。」

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