天眼查App显示，2025年6月20日，「一种椭偏测量系统及测量方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项光学技术专利涉及光学信息与高度信息的精确测量。据专利信息显示，该技术实现了显著优化的测量准确性。发明人为陈鲁、马砚忠、杨长英、王南朔和何泊衢。 「一种椭偏测量系统及测量方法」公开了一种可应用于光学技术领域的椭偏测量系统及测量方法，其中系统包括照射组件和收光组件。照射组件设于待测样品的第一平面侧的第一斜上方，用于产生偏振衍射光束，并将偏振衍射光束斜射向待测样品；待测样品用于反射偏振衍射光束，并产生信号光束；收光组件设于待测样品第一平面侧的第二斜上方，用于接收信号光束，并将信号光束中的有效照射光和衍射杂散光进行分离；有效照射光和衍射杂散光分别被收光组件用于确定待测样品的光学信息和高度信息。通过照射组件和收光组件的配合可以产生并分离有效照射光和衍射杂散光，进而分别用来测量待测样品的光学信息和高度信息，保证了椭偏测量系统的测量准确性。

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