天眼查App显示，2025年6月27日，「半导体工件的传输设备」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京屹唐半导体科技股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及半导体工件传输技术领域。据专利信息显示，该技术利于提升半导体工件的良率。发明人为李海卫、么曼实、薛俊辉、刘飞、吕建建。本公开提供了一种半导体工件的传输设备，包括化学过滤器、第一加热装置、第二加热装置、进风机、第一颗粒过滤器和腔室等组件，并设有第一检测装置以检测温度和/或湿度，从而优化传输过程稳定性。

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