天眼查App显示，2025年6月27日，《「MEMS麦克风及其制备方法、电子装置」》正式进入专利的公布阶段。申请人为清华大学,北京电子控股有限责任公司，该项电通信技术专利涉及微电子技术领域下的MEMS麦克风设计与制造。据专利信息显示，该技术通过优化结构设计，在提高麦克风信噪比的同时，增强了MEMS麦克风的可靠性。发明人为任天令;刘星予;杨轶;颜豪贤;康乔乔;王乾;张彦秀;刘恩峰。本发明提供一种MEMS麦克风及其制备方法，包括衬底和第二晶圆，衬底包含制备有密封空腔振膜的第一晶圆及第一牺牲层，并设有传声孔；第二晶圆上制备有背板；两者在低压环境下键合形成电容器结构，实现性能提升。

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