天眼查App显示，2025年6月27日，《微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法》正式进入专利的公布阶段。申请人为清华大学,北京电子控股有限责任公司，该项电通信技术专利涉及半导体器件技术领域。据专利信息显示，本发明可以有效提高密封双膜结构的微机电系统换能器的灵敏度和稳定性，实现显著优化。发明人为任天令;刘星予;杨轶;颜豪贤;康乔乔;王乾;张彦秀;刘恩峰。该专利摘要指出：本发明提供一种微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法，其中，微机电系统换能器包括：第一膜，第一膜包括至少一个第一拱形膜单元；第二膜，第二膜具有至少一个与第一拱形膜单元对称设置的第二拱形膜单元；支撑柱，支撑柱的两端分别固定连接第一拱形膜单元和第二拱形膜单元；真空腔体，由第一拱形膜单元、第二拱形膜单元以及支撑柱共同围绕形成。

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