天眼查App显示，2025年6月27日，「一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京京仪自动化装备技术股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及半导体制造中温控模块的TVOC排放控制。据专利信息显示，该系统通过配置TVOC浓度传感器、气体流量计、压力传感器以及流量调节阀，并结合控制模块与抽排风机实现智能调控，从而规避总挥发性有机化合物超标风险，尤其适用于因胶水、保温棉和冷却液使用导致TVOC超标的场景。发明人为于贺杰;曹小康;张坤;袁鹏华。本申请能够适用于半导体制造温控模块的TVOC超标处理，具有显著优化效果。

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