天眼查App显示，2025年7月1日，《基板处理设备及方法》正式进入专利的公布阶段。申请人为盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司，该项基本电气元件专利涉及基板处理技术领域，通过配置缓存装置暂存干燥处理后的基板，从而减小基板液处理和干燥处理期间被处理液污染的风险，并提升基板处理效率。据专利信息显示，发明人为冯凯、胡海波、刘成柱、张祝祥、刘璇、王亭亭。本发明公开了一种基板处理设备及方法，该设备包括液处理槽、缓存装置以及可移动地设置在两者上方的干燥腔，以实现更高效且低污染风险的基板处理流程。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。