天眼查App显示，2025年7月8日，「半导体芯片光刻胶掩蔽质量检查装置」专利正式进入专利权的授权阶段。申请人为中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局、许继电气股份有限公司、西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司。该项测量测试专利涉及半导体制造中光刻胶掩蔽质量的检测场景。据专利信息显示，该装置通过集成水平定位设备、自动旋转设备和视频器，实现对结终端造形区台面缺陷点的快速识别与修补，显著提升了生产效率与产品质量。发明人为赖桂森、谢桂泉、方苏、罗宇航、徐晟、王晨涛、苏国磊、张朝辉、苏杰和、凌永兴、焦石、杨学广、陶敏、甘卿忠、徐涵、黄永瑞、邵珠柯、高山城、刘玲、李翀。摘要中指出，该实用新型解决了现有简易放大镜检查方式易漏检、效率低下的问题，有效提高了成品率并取得了显著的经济和社会效益。

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