天眼查App显示，2025年7月18日，真空镀膜设备（PECVD）专利正式进入专利权的授权阶段。申请人为苏州迈为科技股份有限公司、苏州迈正科技有限公司，该项半导体设备专利涉及太阳能电池、平板显示等领域大尺寸腔体内的薄膜沉积。据专利信息显示，该外观设计产品的设计要点在于形状，最能表明设计要点的图片或照片为立体图1。发明人为周剑、曹新民、陈晨、孙健、张斌。本外观设计产品用于太阳能电池、平板显示等领域大尺寸腔体内的薄膜沉积。

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