天眼查App显示，2025年7月22日，《一种晶圆的寻边装置及方法》专利正式进入专利的公布阶段。申请人为无锡卓海科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及晶圆制造中的自动寻边技术场景。据专利信息显示，该方案通过光信号发生器与接收器配合晶圆旋转台，结合控制器实现晶圆偏移量的精准检测，有利于提高晶圆传输效率并减小寻边误差。发明人为周擎天、相宇阳、俞胜武。本发明公开了一种晶圆的寻边装置及方法，控制器分别与光信号发生器、光信号接收器以及晶圆旋转台通信连接；晶圆旋转台用于承载晶圆；控制器用于控制晶圆旋转台旋转，并获取晶圆旋转台的旋转信息；控制器还用于控制光信号发生器发射光信号，其中，光信号发生器发射的部分光信号能够被晶圆遮挡；光信号接收器用于接收未被晶圆遮挡的光信号，并根据接收到的光信号生成电信号；控制器还用于接收电信号，并根据电信号和旋转信息确定晶圆的偏移量，其中，晶圆的偏移量包括晶圆的中心偏离晶圆旋转台的旋转中心的距离以及角度。

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