天眼查App显示，2025年7月25日，「一种晶圆检测定位方法、设备、介质及产品」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项半导体制造专利涉及晶圆检测定位技术领域。据专利信息显示，该技术通过根据预建的标的点数据集对目标位置坐标进行修正，从而有助于提高定位准确性，实现显著优化的检测效果。发明人为刘家欣、薛磊。本发明提供了一种晶圆检测定位方法、设备、介质及产品，具体包括：接收待检测晶圆需拍摄图像的目标位置在预设坐标系中的坐标；根据预建的标的点数据集修正目标位置在预设坐标系中的坐标，标的点数据集包括多个标的点数据，标的点数据包括标的点在预设坐标系中的坐标以及偏移量；输出修正后的目标位置的坐标，从而根据修正后的目标位置的坐标拍摄待检测晶圆，以提升检测定位的精度与效率。

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