江苏天科合达半导体有限公司一种赶硅充分且高效的溶解多晶硅的方法专利公布(测量测试专利快讯)

天眼查App显示,2025年7月29日,江苏天科合达半导体有限公司申请的「一种赶硅充分且高效的溶解多晶硅的方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为江苏天科合达半导体有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司,该项测量测试专利涉及多晶硅溶解工艺的技术改进。据专利信息显示,本发明方法通过多阶段消解与赶酸工艺,实现多晶硅的完全溶解,确保测试结果的准确性,溶解效率提升达工业化生产适用水平。发明人为万宇、申雪珍、邹宇、张平、彭同华、杨建。本专利方法操作简单,适用于ICP MS上机要求,显著优化设备使用效率并降低损耗。摘要显示,该方法包括破碎、消解清洗、水洗、干燥等预处理步骤,并通过氢氟酸和硝酸交替赶硅、赶酸,最终实现硅的高效溶解与系统净化。

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