天眼查App显示，2025年7月29日，「一种在脊波导顶部制作金属电极的方法」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为河南仕佳光子科技股份有限公司，该项半导体光电子器件专利涉及脊波导器件金属电极制造技术。据专利信息显示，该方法通过先在衬底材料上制作金属电极，并依据同一个波导图形依次进行电极刻蚀和脊波导制作，有效保证金属电极与脊波导相对位置准确，消除套刻误差，提高产品质量。发明人为耿豫、张晓光、赵培栋、佘鹏辉、程燕青。本发明包括制作金属电极、掩膜层沉积、光刻、波导图形刻蚀、去除掩膜层等多个步骤，显著优化传统制作工艺中的对准问题。摘要显示，该技术方案在光电子器件领域实现了突破性进展。

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