天眼查App显示，2025年8月5日，「电子束装置」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及电子束装置的技术改进。据专利信息显示，该发明能够通过调节电子束的半张角大小，消除待检测样品表面因成像设备所产生的不同状况的荷电，成像质量提升达显著优化。发明人为孙伟强、孟庆浪。本发明的电子束装置包括：灯丝，作为阴极连接至负高压，配置成产生电子束；吸出电极，相对灯丝为正高压，配置成将电子从灯丝的发射面吸取出来以形成电子束；以及聚焦透镜，配置成调节电子束的半张角的大小，以在待检测样品表面产生不同尺寸和不同束流密度的光斑，从而消除待检测样品表面因成像设备所产生的不同状况的荷电。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。