天眼查App显示，2025年8月8日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的「电极组件和沉积设备」专利正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及电极组件的结构设计与沉积设备的技术改进。据专利信息显示，通过设置加热板、载板和连接片之间的电导通结构，能够显著优化载板与加热板之间导通的可靠性。发明人为宋广华、许伟伟。本申请公开了电极组件包括加热板、载板和连接片。载板设置于加热板上。多个连接片位于载板和加热板之间，连接片的一端固定连接于加热板，连接片的另一端与载板抵接，连接片将载板和加热板电导通。通过上述方式，本申请能够提高载板与加热板电导通的可靠性。

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