天眼查App显示，2025年8月8日，「流量校准仪」正式进入专利权的授权阶段。申请人为中微半导体设备（上海）股份有限公司，该项半导体设备专利涉及集成在半导体设备气柜中，用于质量流量控制器的检测和校准。据专利信息显示，该专利设计要点在于形状与图案的结合，并通过立体图最能表明设计要点。发明人为段国安、连增迪、钟水苗、徐扬、倪图强。摘要显示，该外观设计产品具有特定的工业用途与创新性结构设计。

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