天眼查App显示，2025年8月8日，中微半导体设备（上海）股份有限公司的专利「一种气体验证装置及半导体处理设备」正式进入专利权的授权阶段。申请人为中微半导体设备（上海）股份有限公司，该项测量测试专利涉及气体验证装置及半导体处理设备的技术应用。据专利信息显示，该实用新型通过温度传感器与压力传感器嵌入壳体设置，可以提高气体验证装置的集成度，减少空间占用，并使温度传感器与压力传感器免除外界干扰，获得更加准确的测量信息。发明人为段国安;连增迪;倪图强;徐扬;钟水苗。本实用新型公开了一种气体验证装置及半导体处理设备。气体验证装置，包括罐体，罐体由壳体包裹出空腔，以形成气体容积，罐体上设有进气口和出气口，进气口和出气口分别与空腔连通，出气口串联一阀；在空腔的一侧面上，设置有温度传感器和压力传感器，温度传感器与压力传感器分别嵌入壳体内并与空腔连通。通过上述结构设计，由壳体对温度传感器与压力传感器进行密闭保护，进一步提高了气体验证准确性。

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