天眼查App显示，2025年8月15日，《一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质》正式进入专利权的授权阶段。申请人为无锡卓海科技股份有限公司，该项测量测试专利涉及晶圆检测技术领域。据专利信息显示，该技术方案通过激光光源、晶圆运动模块与位置探测模块之间的夹角及移动距离计算晶圆运动状态参数，实现对晶圆运动模块的高效校准，从而提升晶圆检测精度。发明人为阿民、相宇阳、俞胜武。本发明公开了一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质。晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；激光光源用于发出探测激光；晶圆运动模块用于反射探测激光生成反射激光；位置探测模块用于接收反射激光；检测方法包括：获取探测激光与晶圆运动模块的第一夹角和反射激光与位置探测模块的第二夹角；获取晶圆运动模块运动时反射激光在位置探测模块上的移动距离；根据第一夹角、第二夹角以及移动距离计算晶圆运动模块的运动状态参数；运动状态参数包括倾斜角度和振幅。采用上述技术方案，简单高效的计算出晶圆运动模块的运动状态参数，以便工作人员对晶圆运动模块进行校准，进而提升晶圆检测精度。

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