天眼查App显示，2025年9月2日，「一种扫描电镜真空系统」正式进入专利权的授权阶段。申请人为北京中科科仪股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及显微镜技术领域。据专利信息显示，该系统可在低真空模式和高真空模式下自由切换，并通过使用尽可能少的器件实现成本降低、体积减小与空间节省，技术效果提升达显著优化。发明人为杨聚星。本发明涉及显微镜技术领域，公开了一种扫描电镜真空系统，包括：电子枪；镜筒通过第一阀门与电子枪连接；样品室与镜筒通过第六阀门连接；分子泵第一进气口与电子枪连接，第二进气口通过第五阀门与镜筒连接；分子泵通过第四阀门与样品室连接；机械泵通过第三阀门与样品室连接；扫描电镜真空系统具有关闭第四阀门和第六阀门，打开第一阀门、第三阀门和第五阀门的低真空模式；及具有关闭第三阀门和第五阀门，打开第一阀门、第四阀门和第六阀门的高真空模式。

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