天眼查App显示,2025年9月12日,「一种多用途静密封零件密封性验证用检漏工装」正式进入专利的公布阶段。申请人为中科仪(南通)半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,该项测量测试专利涉及真空泵技术领域中的静密封零件密封性验证。据专利信息显示,该检漏工装通过设置多组检漏压栓组件及加热板,提升了密封性验证的全面性和精确性,解决传统工装功能单一、验证充分性不足的问题,实现多用途检漏验证。发明人为秦艳山;曲文超;孔祥玲;王云;官磊;杨帆;徐静怡。本发明涉及真空泵技术领域,且公开了一种多用途静密封零件密封性验证用检漏工装,包括:基座和盖板;所述基座包括搭接在盖板底部的台座,所述台座底部的中心处一体式设置有柱座,所述柱座的底部一体式同轴设置有底座;所述盖板和台座上贯通并对应设置有八组以柱座中心点为轴环绕开设的组压孔,每组所述组压孔的内部皆安装有检漏压栓组件,所述盖板的顶部设置有加热板。该多用途静密封零件密封性验证用检漏工装,解决了目前真空泵的静密封零件密封性验证用检漏工装功能比较单一,仅能实现某一种密封形式的检漏,没有其他检漏验证作为参照而导致验证充分性不够,影响了静密封零件密封性验证的精确性的情况。
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