中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究团队，成功开发出一种高性能的10毫米大口径压电驱动MEMS快反镜。该产品通过双层异构集成技术和晶圆级键合工艺，实现了高线性度、超高角度分辨率及快速阶跃响应，为卫星激光通信提供了小型化、高精度的解决方案。

这种快反镜在光束指向、捕获和跟踪中表现卓越，其准静态驱动下的最大动态表面形变仅2纳米，满足远距离卫星通信对光学质量的严苛要求。相比传统机械快反镜和商用MEMS快反镜，该器件在航空航天领域展现出显著优势。未来，研究团队将进一步优化镜面尺寸、闭环控制和器件可靠性，推动技术在星间链路中的广泛应用。相关成果已发表于《微系统与纳米工程》期刊。