2025年9月4日，菲利华宣布其合肥光微光掩膜基版精密加工项目已具备批量供货能力，并实现小批量出货。公司已具备从G4.5代到G10.5代TFT-LCD用光掩膜基板的生产能力。同时，济南光微高端电子专用材料精密加工项目已完成基础规格产品量产线通线，并启动高阶产品研发，为后续工艺升级奠定基础。

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