天眼查App显示，美埃（中国）环境科技股份有限公司近日公开了一项名为“一种节能型双风道双控制的恒温洁净送风系统”的发明专利，专利号为CN202411390389.5。该专利于2024年10月8日申请，并于2024年12月31日公布。

该发明涉及半导体制造技术领域，旨在提供一种高效节能的恒温洁净送风系统。系统包括换热器、进风风道、独立风道以及EFU风道。进风风道一端与换热器的出风口连接，另一端设置有第一出风口和第二出风口。独立风道内置有独立风机，一端与第一出风口连接，另一端连接至第一目标区域。EFU风道内置有EFU风机，一端与第二出风口连接，另一端连接至第二目标区域。

该系统的创新之处在于在设备内部增加了一路送风系统，在保证恒温洁净的前提下，不占用设备内部过多的空间，同时功耗较低。这一设计有望为半导体制造行业带来更高效、更节能的解决方案。

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