天眼查App显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司近日公布了一项发明专利，专利号为CN202411388292.0，公开号为CN119275134A。该专利涉及一种新型热处理设备，旨在提升工件的热处理效率。该设备包括反应腔室、支撑机构、一个或多个加热装置以及隔板。反应腔室具有进气侧和出气侧，支撑机构位于反应腔室内，加热装置则设置在反应腔室外。隔板将反应腔室分隔为第一反应腔和第二反应腔，使第一工艺气体和第二工艺气体分别流入两个腔室，对工件的上下表面进行独立热处理。这种设计显著提高了热处理的均匀性和效率，适用于半导体制造等高精度工艺。专利申请时间为2024年9月30日，并于2025年1月7日公布。发明人包括宋岭、庞云玲、盛天佑和蒙小刚。

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