天眼查App显示，导语：北京屹唐半导体科技股份有限公司近日获得一项等离子体技术相关发明专利，涉及半导体工件处理方法，专利授权时间为2025年2月14日。

关键点：
- 专利名称：等离子体产生系统和设备及用于处理半导体工件的方法
- 申请时间：2024年11月5日
- 授权时间：2025年2月14日
- 专利类型：发明专利
- 专利状态：已授权
- 申请单位：北京屹唐半导体科技股份有限公司
- 发明人：刘韬、王春雷、范强、辛孟阳、姜伟鹏
- 专利分类：其他类目不包含的电技术

该项专利的授权标志着北京屹唐半导体科技股份有限公司在等离子体技术领域的创新成果获得认可，未来有望推动半导体制造工艺的进一步发展。

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